TY  - BOOK
AU  - Shaw III
TI  - "MEMS and Nanotechnology, Volume 5"
SN  - 978-3-319-00780-9
PY  - 2014///
PB  - Springer International Publishing
N1  - Fulltext
UR  - http://link.springer.com/10.1007/978-3-319-00780-9
ER  -